Système COAX® Ultron®

Gamme COAX, Dockweiler – Tube double paroi électropoli pour fluides ultra-purs dangereux en microélectronique.

Le système COAX Ultron est conçu pour les fluides où une fuite n’est pas une option et où la pureté de surface conditionne la qualité produit :

Gaz spéciaux du semi-conducteur (HF, HCl, HBr, NH₃, H₂), chimies humides corrosives ultra-pures, fluides pharmaceutiques injectables sous confinement.

Deux tubes concentriques, un tube procédé interne en qualité Ultron électropolie et un tube de sécurité externe en qualité TCC, séparés par un espace annulaire contrôlé.

Utilisé en microélectronique haute pureté (fabs semi-conducteur, photovoltaïque, batteries), en biopharmaceutique pour les fluides toxiques ou hautement actifs (HPAPI, cytotoxiques) et en R&D chimie fine sous confinement.

Finition de surface

L’électropolissage Ultron élimine la couche écrouie de surface et homogénéise la couche passive, ce qui divise par 3 à 5 le taux de relâchement métallique et la rétention particulaire par rapport à un poli mécanique équivalent.

Tubes et raccords préparés pour le soudage orbital. Électropolissage selon procédure Dockweiler Doc. 8.4-40/3.1/3.3.1. Dégraissés pour service gaz ultra purs conformément à CGA G-4.1-2018 et ASTM G93 Level A.

Nettoyage et conditionnement en salle propre ISO Classe 4 / Federal Class 10.

Matériau

Acier inoxydable 316L, à teneur en soufre contrôlée pour soudabilité orbitale optimale et minimisation des inclusions sulfurées en surface.

Principe de fonctionnement

Trois modes d’exploitation de l’espace annulaire, au choix selon l’usage.

• Détection de fuite par gaz vecteur, typiquement azote ou hélium ultra-pur en surpression de 0,5 à 2 bar, avec capteur de pression différentielle ou détecteur spécifique au gaz process en aval. Toute perte de pression ou apparition du média dans l’annulaire déclenche l’alarme avant exposition du personnel ou contamination de la salle blanche.

• Confinement secondaire passif pour les gaz toxiques classés SEMI S2, où l’annulaire achemine toute fuite vers un point de purge sécurisé, sans rejet à l’atmosphère et sans contamination croisée.

• Maintien en température, où l’annulaire véhicule un fluide caloporteur pour éviter la condensation ou la cristallisation d’un précurseur dans le tube interne. Cas typique des précurseurs CVD/ALD à pression de vapeur faible.

Raccordement et soudage

Système préparé pour soudage orbital sur le tube interne.

Normes dimensionnelles

Dimensions métriques et impériales conformes ASME BPE, SEMI F19 et DIN 11866 série C.

Traçabilité et conditionnement

Chaque composant livré avec certificat matière 3.1 selon EN 10204, double traçabilité tube interne et tube externe (nuance, coulée, lot, dimensions, rapport d’électropolissage).

Marquage laser sur l’OD du tube externe. Traçabilité complète de la matière première à la livraison.

Composants emballés en salle blanche, double sachet polyéthylène scellé, extrémités bouchonnées.

Dégraissage oxygène selon ASTM G93 pour les services oxygène et gaz spéciaux.